KTL, 반도체 초순수용 입자표준물질 국산화 박차

한국산업기술시험원(KTL)의 초순수용 입자표준물질 실험 사진.ⓒKTL

한국산업기술시험원(KTL)은 반도체 초순수(UPW) 입자 분석용 표준물질 2종을 개발해 우리 기업의 관련 국내외 시장 진출의 발판을 마련했다고 8일 밝혔다.

초순수는 물을 구성하는 수소와 산소를 제외한 나머지 물질(물속 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등)을 모두 없앤 순수한 물이다. 반도체 표면은 초미세회로로 구성되어 있기 때문에 초순수는 각종 부산물, 오염물 등을 세척하기 위한 필수적인 공업용수다.

이러한 초순수는 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고 난이도의 수처리 기술이 필요해 전 세계적으로 일부 선진국만이 이를 보유하고 있다.

무엇보다 우리나라 반도체 기업은 반도체용 초순수의 생산·공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약하다.

이에 정부(국가기술표준원)는 상용표준물질 개발 및 보급 사업을 통해 국가 핵심 산업 경쟁력 제고와 해외기술 의존도 경감에 앞장서고 있다.

특히 KTL을 관련 과제 수행기관으로 지정해 반도체 연마제로 쓰이는 초순수 입자 분석용 콜로이달 실리카(Colloidal Silica) 2종을 개발하고 KOLAS ISO 17034 표준물질로 등록을 완료하는 성과를 거뒀다.

KTL은 이를 바탕으로 입자의 크기별 개수를 감지하고 측정하는 초순수 입자계수기 성능시험 및 정도검사를 추가로 진행할 예정이다.

이로써 일본과 미국이 주도하고 있는 입자성 표준물질을 국내에서도 공급할 수 있을 것으로 기대된다. 이를 통해 시험 수수료 등 소요되는 경제적 비용을 절감할 뿐만 아니라 시험 일정을 매우 효과적으로 단축시켜 국내 기업에 실질적인 도움을 줄 계획이다.

유동훈 KTL 수석연구원은 “국가 핵심기술인 반도체 공정에 사용하는 초순수용 입자표준물질 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석”이라며 “초순수용 설비 수질 모니터링을 위한 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다”고 밝혔다.